作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許有錯誤的存在。Park NX20原子力顯微鏡，這款高精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和硬盤行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

全面多樣的分析功能

Park NX20原子力顯微鏡可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。高精密度可為用戶帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓用戶能夠更加專注于工作。與此同時，非接觸掃描模式讓探針針尖更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時間和金錢。

為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供精確的形貌測量解決方案

· 對樣品和基片進(jìn)行表面粗糙度測量

· 缺陷檢查成像與分析

· 高分辨率電子掃描模式

· 三維結(jié)構(gòu)測量的解耦XY掃描系統(tǒng)

· 低噪聲Z探測器可精確測量原子力顯微鏡表面形貌

Park NX20特點(diǎn)

低噪聲XYZ位置傳感器

自動多點(diǎn)樣品掃描

掃描頭滑動嵌入式設(shè)計

用于高級掃描模式易插拔擴(kuò)展槽

高速24位數(shù)字電子控制器

高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15 µm

集成編碼器的XY自動樣品載臺

操作方便的樣品臺

同軸高功率光學(xué)集成LED照明和CCD系統(tǒng)。

自動Z軸移動和聚焦系統(tǒng)

Park NX20技術(shù)參數(shù)

掃描器

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高推動力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz帶寬)

XY掃描器

閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選 50 µm × 50 µm)

驅(qū)動臺

Z位移臺行程范圍 : 25 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 15 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 200 mm x 200 mm

樣品架

樣品尺寸 : 基本配置開放空間 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學(xué)

10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)

軟件

SmartScan™

AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的專用軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡易成像
手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數(shù)據(jù)分析軟件

電子

集成功能
4通道數(shù)字鎖相放大器
數(shù)據(jù)Q控制

信號處理

ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

連接外部信號
20個嵌入式輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF, EOL, EOP, 調(diào)制和交流偏壓